17年來(lái),中國(guó)微半導(dǎo)體宣布其突破性的在5納米刻蝕機(jī)的生產(chǎn)技術(shù),導(dǎo)致了美國(guó)巨頭IBM2,這使得中國(guó)微半導(dǎo)體完成對(duì)技術(shù)經(jīng)理從技術(shù)追隨者的變化。此外,中國(guó)微半導(dǎo)體贏得了臺(tái)積電等廠(chǎng)商的訂單。在這一年,中國(guó)微半導(dǎo)體公司工作的1.947十億人民幣的收入,而每個(gè)蝕刻機(jī)的價(jià)格達(dá)到2000萬(wàn)元。
2017年,公司成功開(kāi)發(fā)了5納米等離子刻蝕機(jī)。這是半導(dǎo)體芯片的第一國(guó)產(chǎn)設(shè)備,并且它也是世界上第5納米蝕刻機(jī)。
關(guān)于功能,處理和熱粘接的產(chǎn)品特性。正被處理的產(chǎn)品的名稱(chēng):熱擴(kuò)散焊接。材料特定產(chǎn)品:SUS304不銹鋼。材料厚度(公制):厚度的任何組合可疊加。
蝕刻機(jī)的5納米制程技術(shù)已成功測(cè)試,等離子刻蝕機(jī)技術(shù)的開(kāi)發(fā)。它使在5納米芯片工藝過(guò)程中的一個(gè)重大突破,并通過(guò)臺(tái)積電,全球最大的晶圓代工廠(chǎng)得到了驗(yàn)證。臺(tái)積電已經(jīng)計(jì)劃使2019年試生產(chǎn)的5nm的工藝芯片最早始于第三季度,批量化生產(chǎn),預(yù)計(jì)在2020年得以實(shí)現(xiàn)。
1.大多數(shù)金屬適合光刻,最常見(jiàn)的是不銹鋼,鋁,銅,鎳,鎳,鉬,鎢,鈦等金屬材料。其中,鋁具有最快的蝕刻速率,而鉬和鎢具有最慢的蝕刻速率。