中堂腐蝕加工 (1)FeCL3濃度對蝕刻速度的影響：FeCL3蝕刻液中隨FeCL3濃度的增高，蝕刻速度加快。當所含F(xiàn)eCL3超過某一濃度時，由于溶液黏度增加，蝕刻速度反而有所下降。對于采用抗蝕印料或抗蝕干膜的銅零件，濃度可控制在35。B6左右；采用液體光致抗蝕劑(如骨膠、聚乙烯醇等)的銅零件，濃度町擰制在42。B吾左右。通常情況下控制在350g／L一600呂／L為宦。Feel，溶液的濃度范嘟及質(zhì)量分數(shù)和相對密度的關(guān)系見表5—9。

Fecl3濃度對蝕刻的影響如圖5一12所示。

(2)鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響：在蝕刻液中加入鹽酸，一則可以抑制Fecl3和

cucl，的水解；二則可提高蝕刻速度。特別足當蝕刻液巾鍘禽量達到37．4∥J．后+赫酸的作用更加明顯。但這應(yīng)根據(jù)不同的抗蝕層材料選擇合適的酸度，如果抗蝕層選用骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕劑，則不能選用太高的酸度，否則，抗蝕層易于被破壞。對于感光樹脂抗蝕劑及絲網(wǎng)日J刷抗蝕層，則可以選擇較高的酸度。

(3)溫度對蝕刻速度的影響：在hcl，蝕刻工藝中，隨溫度的增加，蝕刻速度亦加快，比如當溫度在50℃時，全新蝕刻液對銅的蝕刻速度叮達10nI／n-訪：似在實際爿：產(chǎn)中，都是采用常溫蝕刻方法。Fecl，對銅的蝕刻是一個放熱反應(yīng)，隨著蝕劃的進行，蝕刻液溫度會逐漸升高，蝕著4速凄加快。隨著FecL3的消耗，蝕刻速度也會下降。同時這一溫升過程也比較緩慢，所以在整個蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。

(4)攪拌對蝕刻速度的影響：靜止蝕刻的速度和蝕刻質(zhì)量都是比較差的。這是風為在蝕刻過程中．一方面被蝕刻銅袁面和蝕刻液中都會有沉漣生成，影響了銅的正常蝕刻：另一方面，銅在蝕刻過程中，被蝕刻表面的溶液會逐漸呈現(xiàn)暗綠色，這表明在設(shè)蝕刻表面的Fec】，已跟銅發(fā)生了氧化還原反應(yīng)而失去r氧化能力。如但靠蝕刻液葉J n的自身運動無法對被蝕刻表面的及時補充，而使蝕刻速度變慢。這就是所說的濃差極化，即n的運動速度跟不上Fe被消耗的速度。

如果對蝕刻液進行攪拌或采用噴淋等蝕刻方法，則可以加快Fe的運動速度，使被蝕刻表面的Fe能迅速得到補充，則能使蝕刻速度加快。如糶采用壓縮空氣攪拌不但能提高蝕刻速度進町以使蝕剡液得到再生，延長蝕刻液的使用壽命。但是，需適當補充鹽酸

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