中堂腐蝕加工 (1)FeCL3濃度對蝕刻速度的影響：FeCL3蝕刻液中隨FeCL3濃度的增高，蝕刻速度加快。當(dāng)所含F(xiàn)eCL3超過某一濃度時，由于溶液黏度增加，蝕刻速度反而有所下降。對于采用抗蝕印料或抗蝕干膜的銅零件，濃度可控制在35。B6左右；采用液體光致抗蝕劑(如骨膠、聚乙烯醇等)的銅零件，濃度町?dāng)Q制在42。B吾左右。通常情況下控制在350g／L一600呂／L為宦。Feel，溶液的濃度范嘟及質(zhì)量分?jǐn)?shù)和相對密度的關(guān)系見表5—9。

Fecl3濃度對蝕刻的影響如圖5一12所示。

(2)鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響：在蝕刻液中加入鹽酸，一則可以抑制Fecl3和

cucl，的水解；二則可提高蝕刻速度。特別足當(dāng)蝕刻液巾鍘禽量達(dá)到37．4∥J．后+赫酸的作用更加明顯。但這應(yīng)根據(jù)不同的抗蝕層材料選擇合適的酸度，如果抗蝕層選用骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕劑，則不能選用太高的酸度，否則，抗蝕層易于被破壞。對于感光樹脂抗蝕劑及絲網(wǎng)日J(rèn)刷抗蝕層，則可以選擇較高的酸度。

(3)溫度對蝕刻速度的影響：在hcl，蝕刻工藝中，隨溫度的增加，蝕刻速度亦加快，比如當(dāng)溫度在50℃時，全新蝕刻液對銅的蝕刻速度叮達(dá)10nI／n-訪：似在實際爿：產(chǎn)中，都是采用常溫蝕刻方法。Fecl，對銅的蝕刻是一個放熱反應(yīng)，隨著蝕劃的進(jìn)行，蝕刻液溫度會逐漸升高，蝕著4速凄加快。隨著FecL3的消耗，蝕刻速度也會下降。同時這一溫升過程也比較緩慢，所以在整個蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。

(4)攪拌對蝕刻速度的影響：靜止蝕刻的速度和蝕刻質(zhì)量都是比較差的。這是風(fēng)為在蝕刻過程中．一方面被蝕刻銅袁面和蝕刻液中都會有沉漣生成，影響了銅的正常蝕刻：另一方面，銅在蝕刻過程中，被蝕刻表面的溶液會逐漸呈現(xiàn)暗綠色，這表明在設(shè)蝕刻表面的Fec】，已跟銅發(fā)生了氧化還原反應(yīng)而失去r氧化能力。如但靠蝕刻液葉J n的自身運(yùn)動無法對被蝕刻表面的及時補(bǔ)充，而使蝕刻速度變慢。這就是所說的濃差極化，即n的運(yùn)動速度跟不上Fe被消耗的速度。

如果對蝕刻液進(jìn)行攪拌或采用噴淋等蝕刻方法，則可以加快Fe的運(yùn)動速度，使被蝕刻表面的Fe能迅速得到補(bǔ)充，則能使蝕刻速度加快。如糶采用壓縮空氣攪拌不但能提高蝕刻速度進(jìn)町以使蝕剡液得到再生，延長蝕刻液的使用壽命。但是，需適當(dāng)補(bǔ)充鹽酸

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