橫瀝腐蝕加工 將覆銅箔板表面由化學(xué)蝕刻去除不需要的銅導(dǎo)體,留下是需要的銅導(dǎo)體形成線路圖形,這種減去法工藝是當(dāng)前印制板加工的主流。對(duì)銅實(shí)現(xiàn)化學(xué)蝕刻的關(guān)鍵是蝕刻溶液、蝕刻設(shè)備和蝕刻操作條件。蝕刻溶液目前是以氯化銅與鹽酸的酸性氯化銅蝕刻液,及以氯化銅與氨水的堿性氯化銅蝕刻液為主流, 這方面在深入改進(jìn)的是提高蝕刻溶液的蝕刻速率、穩(wěn)定性與再生利用。蝕刻操作條件是對(duì)溫度、壓力、時(shí)間以及溶液濃度等工藝參數(shù)的控制, 使蝕刻過程處于最佳狀態(tài)。蝕刻設(shè)備是圍繞著生產(chǎn)效率、蝕刻速度和蝕刻均勻性而不斷改進(jìn), 現(xiàn)在就此來看設(shè)備的變化與特性?，F(xiàn)在主流是水平傳送噴淋式,而由于噴淋結(jié)構(gòu)差異也有不同效果。

　　蝕刻機(jī)的改進(jìn), 主要體現(xiàn)在傳送方式、噴淋方式, 目的是提高生產(chǎn)效率、蝕刻速度和蝕刻均勻性。

　　1. 板子的傳送: 固定式、水平式、垂直式

　　回顧蝕刻設(shè)備的發(fā)展, 最早僅是一個(gè)蝕刻液槽或缸, 存放了蝕刻液, 覆銅板掛浸在里面溶液中去除未保護(hù)的銅; 后又使蝕刻液攪動(dòng)或板子擺動(dòng), 稍些提高蝕刻速度。此后, 在蝕刻液槽中間有一根噴管, 板子豎直放于槽體周圍, 噴管旋轉(zhuǎn)的離心力把溶液飛濺于板面上實(shí)現(xiàn)蝕刻銅。由于板子固定放置于槽內(nèi), 人工放板與取板效率低, 且勞動(dòng)強(qiáng)度大。那種條件下加工的板子線條寬度/間距在0.5mm以上。

　　后來采用水平傳送板子, 泵輸送溶液至噴管噴淋溶液, 初期還沒有用到噴嘴, 僅采用塑料管上開小孔或縫隙噴淋出的溶液, 壓力較小。以后進(jìn)一步發(fā)展是采用噴嘴與擺動(dòng)結(jié)構(gòu)。

　　水平傳送承載板子的載體曾是采用塑料編織網(wǎng)帶, 由蝕刻機(jī)兩頭輥輪轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)塑料網(wǎng)的移動(dòng), 板子放在網(wǎng)上后不動(dòng)的。這種網(wǎng)帶傳送的好處, 適合各種尺寸(長(zhǎng)、寬與板厚)板子及撓性板的蝕刻, 其缺點(diǎn)是只能單面蝕刻, 雙面板要經(jīng)翻板二次蝕刻。為能雙面同時(shí)蝕刻, 改為滾輪傳送, 這樣板子隨著滾輪前進(jìn), 上下都有空隙可噴淋溶液于板面。裝載滾輪的輥軸轉(zhuǎn)動(dòng), 有靠鏈條帶動(dòng)或齒輪帶動(dòng), 相對(duì)而言齒輪傳動(dòng)平穩(wěn)可靠。因?yàn)閭魉蜐L輪之間有間隙, 會(huì)使小尺寸板及柔軟的板不能傳送, 這就要考慮滾輪的密度, 或附加過橋, 使得小尺寸板與撓性板也能傳送, 已有設(shè)備稱能傳送最薄25祄的薄片。

　　曾有垂直式傳送蝕刻機(jī), 板子垂直掛吊于夾具上進(jìn)入蝕刻機(jī)內(nèi), 在蝕刻室兩側(cè)溶液噴淋板面。由于蝕刻設(shè)備復(fù)雜和沒有體現(xiàn)優(yōu)良的蝕刻效果, 因此沒被發(fā)展?，F(xiàn)在主流是水平傳送噴淋式蝕刻機(jī)。