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溢格蝕刻加工

蝕長安蝕刻鋁刻液氫氟酸(HF)

文章來源:蝕刻加工時間:2020-08-27 點(diǎn)擊:

高埗腐蝕加工 將干燥后的螢石粉和H2SO4按配比1(1.2~l.3)混臺,送入回轉(zhuǎn)式反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行反應(yīng).爐內(nèi)氣相溫度控制在(280±10)℃。反應(yīng)后的氣體進(jìn)入粗餾塔,除_去大部分H2SO4、水分和螢石粉,塔釜溫度控制在100℃~110℃,塔頂溫度為35℃~40℃。粗HF氣體再經(jīng)脫氣塔冷凝為液態(tài),塔釜溫度控制在20℃一23℃,塔頂溫度控制在(-8±1)℃。然后進(jìn)入精餾塔精餾,塔釜溫度控制在30℃-40℃,塔頂溫度控制在(19.6±0.5)℃。精餾后的

HF氣體用水吸收,即得氫氟酸產(chǎn)品,其反應(yīng)式如下:

CaF2十H2S04=HF+CaS04

氫氟酸為無色澄清的發(fā)煙液體,有刺激性氣味,為中等強(qiáng)度的酸。腐蝕性極強(qiáng),極易揮發(fā).置于空氣中即發(fā)白煙。

氫氟酸對金屬的腐蝕性極強(qiáng),通常表現(xiàn)為嚴(yán)重的均勻腐蝕,生成可溶性的氟化物,只有少數(shù)金屬在室溫下能生成較難溶的氟化物。

氯氟酸主要用來對鈦及合金及難溶高合金鋼的化學(xué)腐蝕。是鈦及半導(dǎo)體加工中硅晶片的唯一腐蝕劑。但如單獨(dú)用氫氟酸對鈦合金進(jìn)行腐蝕加工,會使鈦合金吸收大_量的氫而產(chǎn)生不可逆轉(zhuǎn)的氫脆,所以在實際應(yīng)用中,都是和HNO3、Cr03等氧化性酸配合使用。

6HF+Ti—H2nF^十2H2f (4 71)

3Ti+30HF+4CrO3==3H2TiF6+4crn十12H20

Ti+6HF+4HN03一H 2nR十一CN02十41t20

氖氟酸和HNO,配合也用于鑄造鋁合金的酸洗

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