常平蝕刻鋁◆ 微影技術(shù)的後半部，將光罩底膜的光阻進(jìn)行蝕刻，以及進(jìn)行灰化製程將不要的光阻去除。

◆ 微影技術(shù)II包含對(duì)光罩下的光阻進(jìn)行蝕刻和光阻去除。雖然也有不使用光罩，進(jìn)行全面蝕刻的方式，但不包括在微影技術(shù)的範(fàn)圍內(nèi)。

◆ 以光罩進(jìn)行底膜光阻圖案的蝕刻可分乾式和濕式兩種。

◆ 乾式蝕刻是利用電漿，對(duì)底膜就是光阻，產(chǎn)生可進(jìn)行蝕刻的活性種 。

◆ 濕式蝕刻則是將晶圓浸入藥水中進(jìn)行底膜的蝕刻。

◆ 製程的乾式化，可得到與過(guò)去濕式製程完全不同的效果，對(duì)於元件的高積體化、高密度化貢獻(xiàn)良多。

濕式和乾式蝕刻的比較

濕式製程

乾式製程

• 上一篇：腐蝕的種虎門(mén)腐蝕加工類和定義
• 下一篇：蝕刻液鹽酸的茶山蝕刻加工生產(chǎn)