高埗蝕刻鋁蝕刻因子測試方法

1.準備事項:

A.測試實驗板:尺寸:20×14,各4PNL

(1).0.5oz銅厚基板+ΙCu厚度;

(2).1oz銅厚基板+ΙCu厚度;

(3).2oz銅厚基板+ΙCu厚度;

B.線路菲林:具不同線寬線距之全板縱橫分布,包含3/3?4/4?5/5?6/6?7/7?8/8?9/9?10/10(mil/mil).

C.測量工具:50倍放大鏡一個(帶刻度),微切片分析儀一套.

2.實驗過程:

以上述實驗板規(guī)格和線路菲林依負片流程作業(yè)(包括影像轉(zhuǎn)移和電鍍二銅及錫鉛)直至走完蝕刻線.

3.測試數(shù)據(jù)記錄:

分別以不同速度蝕刻不同銅厚的板子,先用50倍放大鏡觀察蝕刻前后的側(cè)蝕量及毛邊量,再選取具代表性線路位置做切片測試蝕刻因子.

4.要求:蝕刻因子大于2.一般控制在3~5.

5.蝕刻因子E之計算:E=2H/(A-B)

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