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東城蝕刻加工 貼膜時(shí)，先從膜上剝下聚乙烯薄膜，然后在加熱加壓的條件下將干膜光致抗蝕層粘貼在銅箔面。干膜中的光致抗蝕層受熱后變軟，流動(dòng)性增加，借助于熱壓輥的壓力和光致抗蝕層中膠黏劑的作用完成貼膜過程。
貼膜過程通常都是在貼膜機(jī)上完成，貼膜機(jī)的型號很多，但基本結(jié)構(gòu)大致相同，貼膜機(jī)結(jié)掏示意圖如圖3 -3所示。
貼膜可連續(xù)貼也可吼單張貼。連續(xù)貼膜時(shí)，要注意在上、下干膜送料輥上裝干膜時(shí)要對齊。單張貼時(shí)，膜的尺寸不可大于板畫，以防止抗蝕劑牯到熱壓輥上
連續(xù)貼膜生產(chǎn)效率高，適合于大批量!L產(chǎn)；小批量生產(chǎn)可采用單張貼膜法，以減少十膜的浪貲。
水管足連續(xù)貼還是單張貼在貼膜時(shí)都要掌握好貼膜壓力、貼膜溫度及貼膜傳送速度三個(gè)要素。
(1)壓力：新安裝的貼膜機(jī)，苗先耍將r下兩熱樂輥調(diào)至軸向平行，然后采用逐漸加大壓力的辦法進(jìn)行壓力調(diào)市。壓力大小根據(jù)基板厚度誦到使干膜易貼、貼牢、不出皺折為度，線樂力以0．5k昏／cm～0．6kg／cm宜。壓力調(diào)整好后就可固定使用，不需經(jīng)常調(diào)節(jié)。
(2)溫度：根據(jù)干膜的類型、性能、環(huán)境溫度和濕度的小同而略有不同。膜層較干，環(huán)境溫度低，濕度小時(shí)，貼膜溫度要高些，反之則低些。貼膜溫度過高，—r膜圖像變脆，耐蝕刻性和耐鍍性能變差，甚至j。發(fā)生熱聚合．．貼膜溫度過低叫，干膜與金屬表面粘附不牢，在顯影或電鍍過程中膜易起層甚至脫落。通常溫度控制在80℃～100℃左右。
(3)傳送速度：傳送速度與貼膜溫度有關(guān)，溫度高傳送速度可快些，溫度低則可適當(dāng)調(diào)慢傳送速度。通常采用的傳送速度為0．9Ⅱ∥mir-一1．8nv，rain。在貼膜過程中，熱壓輥在要求的傳送速度下，難以給基板提供足夠的熱量，因此需要給貼膜的基板進(jìn)行預(yù)熱。即在烘箱中干燥后，稍加冷卻即町進(jìn)行貼膜。完好的貼膜麻是表面平襤，無皺折，無氣泡，無灰塵顆粒等夾雜物。為r保持工藝的穩(wěn)定性．貼膜后的板子不可立即進(jìn)行曝光，應(yīng)經(jīng)過約ionlin的冷卻恢復(fù)后再進(jìn)行曝光。