常平蝕刻加工 感光性包括感光速度、曝光時(shí)間寬?cǎi)径群蜕疃绕毓馓匦缘戎笜?biāo)。

(I)感光速度：感光速度是指光致抗蝕劑在紫外光照射下，光聚合單體產(chǎn)生聚合反應(yīng)，形成具有一定抗蝕能力的聚合物，所需要的光能量的多少。在光源強(qiáng)度及燈距固定的情況下，感光速度表現(xiàn)為曝光時(shí)間的長(zhǎng)短，曝光時(shí)間短，即為感光速度快。從提高生產(chǎn)效率和保證圖文精度來(lái)考慮希望干膜的感光速度越快越好。

(2)曝光寬容度：最大曝光時(shí)間與最短曝光時(shí)問(wèn)之比稱為曝光時(shí)間寬容度。干膜曝光～段時(shí)間后，經(jīng)顯影，光致抗蝕層已全部或大部聚合，并具有技術(shù)條件所要求的抗蝕性能，該時(shí)間稱為最短曝光時(shí)間或稱為最小曝光量。將曝光時(shí)間繼續(xù)延長(zhǎng)，使光致抗蝕劑聚合得更徹底，且能正常顯影，顯影后的得到的圖文尺寸仍與照相底版尺寸相符，顯影后的抗蝕層滿足技術(shù)條件要求的抗蝕性能及附著性能，該時(shí)間稱為最大曝光時(shí)間或最大曝光

最。通常干膜的最佳曝光時(shí)間選擇在最短曝光時(shí)問(wèn)和最大曝光時(shí)間之間，干膜產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)都有一參考曝光時(shí)間，根據(jù)這一參數(shù)經(jīng)過(guò)多次實(shí)驗(yàn)很容易得最佳曝光時(shí)間。

(3)深度曝光特性：干膜的深度曝光特性很重要，曝光時(shí)，光能量因通過(guò)光致抗蝕層和散射效應(yīng)而減少。若光致抗蝕層對(duì)光的透過(guò)率不好，在光致抗蝕層較厚時(shí)，會(huì)造成上層曝光量合適。下層就可能不發(fā)生聚合反應(yīng)，使顯影后光致抗蝕層邊緣不整齊，影響圖文的精度和分辨率，嚴(yán)重時(shí)抗蝕層容易發(fā)生起翹和脫落現(xiàn)象。在這種情況下，為使下層能完全聚合，必須加大曝光量也就是延長(zhǎng)曝光時(shí)問(wèn)，上層就可能曝光過(guò)度。因此深度曝光特性的好壞是衡量干膜感光質(zhì)量的一項(xiàng)重要指標(biāo)。

(4)深度曝光系數(shù)：第飲響應(yīng)時(shí)間的光密度和飽和光密度的比值稱為深度曝光系數(shù)，此系數(shù)的測(cè)量方法是將—干膜貼在透明的有機(jī)玻璃上，采用透射密度計(jì)測(cè)量光密度。深度曝光系數(shù)的測(cè)試比較復(fù)雜，且干膜貼在有機(jī)玻璃板上與貼在金屬板上的情況也不相同。所以為簡(jiǎn)便測(cè)量及符合實(shí)際情況，以干膜的最短曝光時(shí)問(wèn)為基準(zhǔn)來(lái)衡量深度曝光性，其測(cè)量方法是將干膜貼在金屬板上后，按最小曝光時(shí)問(wèn)縮小一定倍數(shù)曝光并顯影，再檢查金屬板表面上的干膜有無(wú)響應(yīng)。

在使用5kw高壓汞燈，燈距650mm，曝光表面溫度(25±5)℃的條件下，干膜的感光性能應(yīng)符合表3-7的要求。

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