干膜光致抗蝕膜常平蝕刻加工的厚度
文章來源:蝕刻加工時間:2020-08-27 點擊:
企石蝕刻加工 在產(chǎn)品說明書上都會標(biāo)出光致抗蝕膜層的厚度(注意是光致抗蝕膜層的厚度，而不是包括聚酯膜和聚乙烯膜的整個干膜厚度)，可根據(jù)不同的需要選擇不同厚度的感光膜。精細(xì)強(qiáng)文可選用光致抗蝕層厚度為25um的下膜；圖形電鍍可選用光致抗蝕層厚度為38µm的干膜；需要進(jìn)行遮避的孔或需要長時間蝕刻的場合，可選擇光致抗蝕層厚度為50µm的干膜。干膜厚度的尺寸公差技術(shù)要求見表3—6。
