石碣腐蝕加工基板的清洗與表面處理(對於較小的平面工件,可直接采用絲印的方式完成塗布的工序,但對於大面積,絲印無法進行的產(chǎn)品只能采用直接在工件表面塗布顯影。)---->涂布---->熱風預烘---->曝光---->顯影---->補光固化---->干燥---->蝕刻---->脫墨---->後制作
1.基板的清洗與表面處理
目的:除去工件表面的防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌的汗?jié)n油脂等。
成份組成:氫氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質(zhì)及十二烷基苯磺酸鈉等。
脫脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件的接合力,以致在蝕刻過程中保護膜脫落造成工件的損壞。
2.涂布
涂布感光油墨。
可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴塗的方式,對油墨塗層的均一性要求不是很高,只要能保證塗層能夠在蝕刻時對產(chǎn)品需保護部位得到充分的保護。
此工序和制作網(wǎng)板中的塗布工序差不多,只是制作網(wǎng)板是在網(wǎng)砂上塗感光油墨,而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。
4.3 熱風預烘干
熱風預烘干(30-40℃,10-15分)
目的只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。要在暗室中進行操作。
4 曝光
高壓汞燈、碘鎵燈、金屬鹵素燈。
時間:二十秒左右,抽真空;根據(jù)工件的精度要求適當調(diào)整曝光時間。精度要求越高,曝光時間要適當縮短
5.顯影
對於水性感光油墨,可采用1%碳酸鈉水溶液或直接用清水,溫度25-30℃,手工顯影或噴射顯影。
對於油性感光油墨,可采用有機溶劑進行手工顯影或噴射顯影。
6.補光固化
增加固化膜對底材的結合力,提高耐蝕刻性能。
采用高壓汞燈照射 或用紫外光照射,照射時間的長短要根據(jù)各自油墨的不同特性來決定,時間太長,油墨老化,結合力不好導致不能很好保護工件,時間太短,固化效果不好,結合力也不好,也不能很好保護工件。
7.干燥
干燥 90-110℃/5-10分,增加固化膜對底材的結合力,提高耐腐蝕或耐電鍍性能。
若要永久保留固化膜,可進行140-160℃/30分鐘以上熱烘烤
8. 蝕刻
1).化學蝕刻
蝕刻液一般都是強酸或強堿。盡可能使反應快速完成,一般蝕刻速度為0.04mm/分鐘,蝕刻速度越快,側蝕的程度就越小,所得到的工件精密度就越高。
2).電化學蝕刻
把工件做陽極,在電解液中通電,工件上未被保護部位因作陽極而溶解,從而達到蝕刻的目的。電化學蝕刻的蝕刻速率一般由工件表面的電流密度來控制。
9.脫墨