蝕刻技長(zhǎng)安蝕刻鋁術(shù)及蝕刻液的分析
文章來源:蝕刻加工時(shí)間:2020-08-27 點(diǎn)擊:
南城蝕刻加工 蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可分為濕蝕刻和干蝕刻,在濕蝕刻中使用化學(xué)溶液,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的,而干蝕刻通常是一種等離子體蝕刻,其作用可能是等離子體撞擊芯片表面的物理作用,或者可能是等離子體活性基與芯片表面原子間的化學(xué)反應(yīng),甚至也可能是兩者的復(fù)合作用。
1. 晶圓蝕刻