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溢格蝕刻加工

石龍鏡面不銹鋼蝕刻技術(shù)

文章來源:蝕刻加工時間:2020-09-14 點(diǎn)擊:

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這一過程涉及物理學(xué)和光學(xué)的組合效果。蝕刻機(jī)實(shí)際進(jìn)行小型化和芯片的微型雕刻。每一行和深孔的精度需要非常精細(xì),精度要求非常嚴(yán)格。

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0.1毫米不銹鋼是非常薄,在蝕刻期間容易變形??蛻敉蟛粌H有0.1mm的材料,同時也非常小的尺寸。在蝕刻行業(yè),如果規(guī)模小,如10毫米-20毫米,它是只有大約相同的尺寸作為我們的手指的直徑,這導(dǎo)致低效的膜去除。因此,更薄,更小的產(chǎn)品,但勞動力成本上升。

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另一個例子是華為的5G技術(shù),這是一個國際領(lǐng)先的技術(shù),這將導(dǎo)致通信行業(yè)的發(fā)展,制定行業(yè)規(guī)則和標(biāo)準(zhǔn)。因此,我們還有很長的路要走。也許“超車彎道上”的可能性是非常低的,但是我們會越來越穩(wěn)定和快速。今天,我們可以有5納米刻蝕機(jī)制造商,明天我們可以有第一5nm的光刻機(jī)。在那個時候,我們可以說,“中國的芯片生產(chǎn)技術(shù)終于通過了歐洲和美國的封鎖,占領(lǐng)世界制高點(diǎn)的第一次?!?/p>

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到其它含氟廢水處理類似,在水相中的氟通常是固定的,并通過沉淀法沉淀,但面臨大量的污泥和高的二次治療費(fèi)用。特別是,如何處置與通過在一個合理的和有效的方法腐蝕復(fù)雜組合物的廢水是行業(yè)的焦點(diǎn)。例如,在專利公開號CN 106517244甲烷二氟由從含氟蝕刻廢液中除去雜質(zhì)制備,但是它被直接用于氨的中和,除去雜質(zhì),和氨氣味溢出可能難以在控制處理;另一個例子是吸附和去除的使用專利公開號CN 104843818螯合樹脂偏二氟乙烯,但這種樹脂是昂貴的,并且在使用之后需要再生。從經(jīng)濟(jì)的觀點(diǎn)來看,它一般只適用于低氟廢水的處理?,F(xiàn)在,含氟蝕刻氣體是不可見的“刀”。它被廣泛用于半導(dǎo)體或液晶的前端過程。它甚至可以雕刻納米尺度的溝槽和微米厚的薄膜。它可以由?那么,什么是氟的蝕刻氣體?他們?nèi)绾喂ぷ鳎坑糜谖g刻的氣體被稱為蝕刻氣體,通常是氟化物氣體,例如四氟化碳,perfluorobutadiene,三氟化氮,六氟乙烷,全氟丙烷,三氟甲烷和其它含氟蝕刻氣體是電子氣的一個重要分支。這是一個不可缺少的原料用于生產(chǎn)超大規(guī)模集成電路,平板顯示裝置,太陽能電池,光學(xué)纖維和其它電子行業(yè)。它被廣泛用于薄膜,蝕刻,摻雜,氣相沉積和擴(kuò)散。和其它半導(dǎo)體工藝。在國家發(fā)展和改革委員會“產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2011年版)(修訂版)”,電子氣體被列為鼓勵國家級重點(diǎn)新產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。該蝕刻方法包括濕法化學(xué)蝕刻和干式化學(xué)蝕刻。干法蝕刻具有廣泛的應(yīng)用范圍。由于其強(qiáng)的蝕刻方向,精確的工藝控制,和方便的,沒有脫膠現(xiàn)象,無基板損傷和污??染。蝕刻是蝕刻掉經(jīng)處理的表面,如氧化硅膜,金屬膜等等,這是不包括在基板上的光致抗蝕劑,使光致抗蝕劑掩蔽的區(qū)域被保留,使得所需成像模式它可以是所得到的基材的表面上。蝕刻的基本要求是,該圖案的邊緣整齊,線條清晰,圖案的變化是小的,和光致抗蝕劑膜和其掩蔽表面是從損傷和底切自由。

在該圖所示的蝕刻裝置。 1主要由蝕刻罐(1),分析裝置(2),硝酸/磷酸循環(huán)泵/乙酸濃度分析裝置(3),一個新的乙酸箱(5),和新的乙酸供給泵( 6)中,加熱在所述裝置(7)中,蝕刻終止廢液清除管線(9),新的蝕刻溶液(濃度調(diào)整磷酸/硝酸/乙酸),的引入線(10)(11)攪拌裝置,新的蝕刻液罐(15),一個新的蝕刻液供給泵(16)形成。另外,在上述分析裝置的裝置(3)中的乙酸濃度的輸出信號(8)被接收,以控制新鮮乙酸溶液的供給量。另外,從分析裝置的裝置(3)的蝕刻廢液去除調(diào)整輸出信號(12)被接收,以控制蝕刻液去除量。即,首先,蝕刻停止溶液通過蝕刻停止廢液移除管線(9)的蝕刻罐(1)。 )吸入。 )酸當(dāng)量濃度的必要量成比例的差值。然后,將新的蝕刻液導(dǎo)入信號(14)(13)從液位計(jì)接收和在用于供給來自新蝕刻液導(dǎo)入線(10)一個新的蝕刻溶液的蝕刻槽(1)中設(shè)置,并返回到指定的電平是在蝕刻槽(1)。該對象將被蝕刻(4)浸漬于以合適的方式在蝕刻槽(1)的蝕刻液??傊?,硝酸和磷酸可以被提供有對應(yīng)于等效鋁當(dāng)量溶解在酸成分的降低的鋁濃度。此外,它也被認(rèn)為通過使用酸或其它組分,如乙酸,這是由單獨(dú)的一個被移除的,以提供新的蝕刻液的補(bǔ)充供應(yīng)來提供。此外,通過周期性地提取所述的蝕刻溶液的一部分,在該蝕刻溶液中的硝酸的摩爾數(shù)的增加,也可以調(diào)整。因此,可以在不更換蝕刻溶液的全部量進(jìn)行連續(xù)蝕刻。溶解在蝕刻溶液中的鋁濃度可以在蝕刻浴(1)的外部進(jìn)行分析,或從被處理物的量的質(zhì)量平衡估計(jì)的值將被蝕刻(4),或它可用于等

一般而言,目前常見的蝕刻技術(shù)是確保不銹鋼的材料將在使用過程中不會氧化和生銹。如果這種類型的不銹鋼被用作裝飾材料,其中大部分是需要被染色。具體的著色方法可以使用化學(xué)方法或電解著色不銹鋼蝕刻制品,從而使不銹鋼可具有美麗的顏色。如今,眾多的室內(nèi)外裝飾裝修材料已經(jīng)開始使用不銹鋼蝕刻主要是因?yàn)椴讳P鋼的許多優(yōu)點(diǎn),如價格低,使用壽命長,和材料,不需要長期護(hù)理作裝飾。 。

現(xiàn)在,中國微電子自主研發(fā)的5納米等離子刻蝕機(jī)也已經(jīng)批準(zhǔn)臺積電并投入生產(chǎn)線使用。雖然沒有中國的半導(dǎo)體設(shè)備公司已經(jīng)成功地在世界上進(jìn)入前十名,事實(shí)上,在許多半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,中國半導(dǎo)體企業(yè)都取得了新的技術(shù)突破,特別是在芯片刻蝕機(jī)領(lǐng)域。實(shí)現(xiàn)了世界領(lǐng)先的技術(shù)。

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