白云錳鋼蝕刻技術(shù)

金屬表面預(yù)處理，所謂預(yù)處理，是指對某種金屬材料在進(jìn)行防蝕層制作前或蝕刻前的預(yù)先加工處理過程。 其目的是為某種金屬材料提供一個表面狀態(tài)一致的基準(zhǔn)，然后在這個基準(zhǔn)上再進(jìn)行后續(xù)加工過程。 預(yù)處理質(zhì)量的合格與否，將直接影響到金屬蝕刻的最終質(zhì)量。表現(xiàn)得最為突出的就是經(jīng)預(yù)處理后工件表面與防蝕層之間的附著力關(guān)系，只有經(jīng)過良好預(yù)處理的工件才能制作出滿足蝕刻要求的防蝕層。同時，預(yù)處理也是金屬蝕刻最先進(jìn)行的工序，只有良好的開端才會有滿意的結(jié)果。本節(jié)將對金屬表面預(yù)處理所包括的各個工序及步驟逐一展開討論。

銅銅是工業(yè)純銅。其熔點為1083℃，不存在同素異形變化的，其相對密度為8.9，這是五倍鎂。這是約15？ Eavier比普通鋼。它有一個玫瑰紅的顏色，并且當(dāng)所述表面上形成的氧化膜，它通常被稱為紅色銅和是紫色的。它是銅，它含有一定量的氧氣，因此它也被稱為含氧銅。紅色銅箔評出了紫紅色。它不一定是純銅，有時材料和屬性添加到改善脫氧元素或其他元素的量，所以它也被分類為銅合金。中國銅加工材料可分為四種類型：普通銅（T1，T2，T3，T4），無氧銅（TU1，TU2和高純度，真空無氧銅），脫氧銅（TUP，TUMn），和特殊的銅合金小類型（銅砷，碲銅，銀銅）。銅的電和熱導(dǎo)率是僅次于銀，并且它廣泛用于電和熱設(shè)備的制造。紫銅在大氣中良好的耐腐蝕性，海水和某些非氧化性酸（鹽酸，稀硫酸），堿，鹽溶液和各種有機(jī)酸（乙酸，檸檬酸），而在化學(xué)工業(yè)中被用于。此外，銅具有良好的可焊性和可制成各種半成品和成品通過冷和熱塑性加工。這時在上世紀(jì)70年代，紫銅的產(chǎn)量超過其他類型的銅合金的總產(chǎn)量。在紫銅微量雜質(zhì)對銅的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性造成嚴(yán)重影響。其中，鈦，磷，鐵，硅等顯著降低導(dǎo)電性，而鎘，鋅等的影響不大。氧，硫，硒，碲等具有在銅非常低的固溶度，并且可以形成具有銅化合物，這對導(dǎo)電性更不易碎的影響，但可以減少治療的可塑性。當(dāng)普通銅被包含在晶界，氫或一氧化碳的氫或一氧化碳容易與氧化亞銅（銅氧化物）相互作用，以產(chǎn)生在還原性氣氛的高壓水蒸氣或二氧化碳?xì)怏w，這會導(dǎo)致銅以通過熱反應(yīng)破解。這種現(xiàn)象通常被稱為銅的“氫病”。氧氣是有害的銅的可焊性。

陽極氧化：一個常見陽極氧化過程中，例如鋁合金。陽極化是金屬或合金的電化學(xué)氧化。電化學(xué)原理用于形成所述金屬的表面上的氧化膜，從而使工件的物理和化學(xué)性能能滿足要求。

現(xiàn)在，中國微電子自主研發(fā)的5納米等離子刻蝕機(jī)也已經(jīng)批準(zhǔn)臺積電并投入生產(chǎn)線使用。雖然沒有中國的半導(dǎo)體設(shè)備公司已經(jīng)成功地在世界上進(jìn)入前十名，事實上，在許多半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，中國半導(dǎo)體企業(yè)都取得了新的技術(shù)突破，特別是在芯片刻蝕機(jī)領(lǐng)域。實現(xiàn)了世界領(lǐng)先的技術(shù)。

4)蝕刻液的PH值：堿性蝕刻液的PH值較高時，側(cè)蝕增大。峁見圖10-3為了減少側(cè)蝕，一般PH值應(yīng)控制在8.5以下。

在連續(xù)的板子蝕刻中，蝕刻速率越一致，越能獲得均勻蝕刻的板子。要達(dá)到這一要求，必須保證蝕刻液在蝕刻的全過程始終保持在最佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補(bǔ)償，蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對各種溶液參數(shù)能自動控制的工藝和設(shè)備。通過控制溶銅量，PH值，溶液的濃度，溫度，溶液流量的均勻性(噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動)等來實現(xiàn)。

該產(chǎn)品的主要用途：IC引線框架是一種集成電路，其是在芯片的內(nèi)部電路和由接合材料（金線，鋁線，外部引線，銅線）的設(shè)備來實現(xiàn)芯片在芯片載體引線的內(nèi)部電路前端和上述外引線以形成電路之間的電連接鍵結(jié)構(gòu)體

鍍鉻是泛指電鍍鉻，鍍鉻有兩種的，一種是裝飾鉻，一種是硬鉻。鍍硬鉻是比較好的一種增加表面硬度的方法，但它也是有優(yōu)缺點的，那么精密蝕刻

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