松崗鐵網(wǎng)蝕刻技術(shù)

張光華，在IC行業(yè)電子工程師：“一，二年前，隨著互聯(lián)網(wǎng)，中國微電子開發(fā)5如果在nanoetcher報(bào)告可以應(yīng)用到臺積電，充分顯示了中國微電子已經(jīng)達(dá)到世界領(lǐng)先水平，但它是一個(gè)夸張地說，中國的chip'overtaking曲線“向上”。

光刻的精度直接決定了部件的尺寸，并與蝕刻和成膜確定是否光刻的尺寸可實(shí)際處理的精度。因此，光刻，蝕刻和薄膜沉積設(shè)備是芯片的處理中最重要的。三種類型的主要設(shè)備。在光刻機(jī)誰幾乎壟斷了這個(gè)行業(yè)領(lǐng)域的霸主是一個(gè)叫阿斯荷蘭公司

我們一般可以理解蝕刻工藝是沖壓工藝的延伸，是可以替代沖壓工藝解決不了的產(chǎn)品生產(chǎn)問題。沖壓會涉及到模具的問題，而且大部份的沖壓模具都是比較昂貴的，一旦確定了的模具，如果想再次更改的話，就得需要再次開模，很容易造成模具的浪費(fèi)以及減少生產(chǎn)的效率。

1.在精密產(chǎn)品的處理中的應(yīng)用：主墊圈，彈簧和精密金屬零件的加工;特殊電路元件的處理;電路板的處理;箔和薄板材等的處理

金屬表面預(yù)處理，所謂預(yù)處理，是指對某種金屬材料在進(jìn)行防蝕層制作前或蝕刻前的預(yù)先加工處理過程。 其目的是為某種金屬材料提供一個(gè)表面狀態(tài)一致的基準(zhǔn)，然后在這個(gè)基準(zhǔn)上再進(jìn)行后續(xù)加工過程。 預(yù)處理質(zhì)量的合格與否，將直接影響到金屬蝕刻的最終質(zhì)量。表現(xiàn)得最為突出的就是經(jīng)預(yù)處理后工件表面與防蝕層之間的附著力關(guān)系，只有經(jīng)過良好預(yù)處理的工件才能制作出滿足蝕刻要求的防蝕層。同時(shí)，預(yù)處理也是金屬蝕刻最先進(jìn)行的工序，只有良好的開端才會有滿意的結(jié)果。本節(jié)將對金屬表面預(yù)處理所包括的各個(gè)工序及步驟逐一展開討論。

下切嚴(yán)重影響印刷生產(chǎn)線和嚴(yán)重不良侵蝕的精度將使它不可能使細(xì)線。如果咬邊和裝飾減少，蝕刻因子增加。高蝕刻因數(shù)表示保持細(xì)線，從而關(guān)閉蝕刻線到其原始大小的能力。是否電鍍抗蝕劑是錫 - 鉛合金，錫，錫 - 鎳合金或鎳，過多毛刺可引起金屬絲的短路。因?yàn)橥怀鲞吘壥侨菀壮霈F(xiàn)故障，一個(gè)橋接導(dǎo)體兩點(diǎn)之間形成。提高板之間的蝕刻處理速度的均勻性：蝕刻在連續(xù)板可導(dǎo)致更均勻的蝕刻處理以更均勻的速率來蝕刻所述襯底。為了滿足這一要求，就必須確保腐蝕始終處于最佳的腐蝕過程。這需要蝕刻溶液的選擇，這是很容易再生和補(bǔ)償，并且蝕刻速度是很容易控制。選擇自動地控制工藝和設(shè)備，其提供恒定的操作條件和各種溶液參數(shù)。

3、化學(xué)拋光：主要針對拉絲工件，此工序主要除去拉絲過程中絲紋縫里含帶的小金屬顆粒，但時(shí)間不宜太長，以免影響絲紋效果。

板子上下兩面以及板面上各個(gè)部位的蝕刻均勻性是由板子表面受到蝕刻劑流量的均勻性決定的。蝕刻過程中，上下板面的蝕刻速率往往不一致。一般來說，下板面的蝕刻速率高于上板面。因?yàn)樯习迕嬗腥芤旱亩逊e，減弱了蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行?？梢酝ㄟ^調(diào)整上下噴嘴的噴啉壓力來解決上下板面蝕刻不均的現(xiàn)象。蝕刻印制板的一個(gè)普遍問題是在相同時(shí)間里使全部板面都蝕刻干凈是很難做到的，板子邊緣比板子中心部位蝕刻的快。采用噴淋系統(tǒng)并使噴嘴擺動是一個(gè)有效的措施。更進(jìn)一步的改善可以通過使板中心和板邊緣處的噴淋壓力不同，板前沿和板后端間歇蝕刻的辦法，達(dá)到整個(gè)板面的蝕刻均勻性。

本來，如果你繼續(xù)在硅谷奮斗，你將能夠取得更大的腐蝕，但精英團(tuán)隊(duì)帶領(lǐng)拼命地回到中國，開始了自己的生意，誓要擺脫在蝕刻機(jī)行業(yè)在美國的禁令。隨著精英團(tuán)隊(duì)的整體實(shí)力，為中國微半導(dǎo)體全力支持政府部門，中國腐蝕機(jī)械制造業(yè)正在迅速提高。

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