
而蝕刻刀模的影響極大地受圖案間距和圖案形狀的影響。需要考慮線補償?shù)母嗉毠?jié),增加不同間距和特殊圖案之間的補償量,增加段補償?shù)牡燃?,以幫助蝕刻均勻性和減少蝕刻毛刺。那么有什么辦法減少?如下幾點:
1、根據(jù)圖形和線距進行分多段補償,加大密集和非密集線補償比例,密集線和特殊圖形,如梳型、弧形、尖角等,這些都容易出現(xiàn)蝕刻毛邊過大,所以需加大補償;
2、可分兩次或兩次以上蝕刻,每次蝕刻調(diào)整放刀模方向,包括正反面,按不同方向放板可以使噴咀從更多方位角度去噴射藥液來改善密集和特殊圖形蝕刻毛邊,此方法也適應(yīng)酸性蝕刻。

