在蝕刻加工的工藝中,除不經(jīng)任何防蝕處理的整體蝕刻方法外,都必須要注意防蝕層下蝕刻的“蔓延”問題,也便是我們常說的側(cè)腐蝕。側(cè)腐蝕的大小直接關(guān)系到圖文的精度和蝕刻線條的極限尺度。一般把防蝕層下的水平方向的蝕刻寬度A稱為側(cè)蝕量,側(cè)蝕量A與蝕刻深度H的比值便是側(cè)蝕率F:F=A/H式中:A為側(cè)蝕刻量(mm),H為蝕刻深度(mm);F為側(cè)蝕刻率或腐蝕因素,用以表示不同條件下側(cè)蝕刻量與蝕刻深度之間的關(guān)系。
以上有關(guān)圓弧R的大小受蝕刻深度,被蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法及資料種類等的影響較大。側(cè)蝕刻的量決定了化學(xué)蝕刻的精度,側(cè)蝕量越小,加工的精度越高,適用的規(guī)模就越寬,反之,加工的精度低,適用規(guī)模小。
側(cè)蝕量的大小首要受金屬資料的影響,在常用的幾種金屬資料中,以銅的側(cè)蝕量最小,鋁的側(cè)蝕量最大。挑選更為優(yōu)越的蝕刻劑,雖然蝕刻的速度進(jìn)步并不明顯,但確實(shí)可改進(jìn)金屬蝕刻加工的側(cè)蝕量。