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溢格蝕刻加工

防蝕層厚橫瀝蝕刻鋁度和圖文精度的關(guān)系

文章來(lái)源:蝕刻加工時(shí)間:2020-08-27 點(diǎn)擊:

東坑蝕刻加工 一定厚度的防蝕層對(duì)電鍍和蝕刻加工非常重要,防蝕層厚度與抗蝕性、抗電鍍性及電鍍層邊緣的平直性能成正比關(guān)系。越厚的抗蝕層,具有更高抗腐蝕劑強(qiáng)度的能力和抗電鍍能力,同時(shí)也可以在較厚的鍍層范圍內(nèi)保持鍍層邊緣的平直。但也不是防蝕層越厚越好,因?yàn)檫^(guò)厚的防蝕層其內(nèi)部光聚合程度并不完全,在其內(nèi)部還存在相當(dāng)量的聚合不完全甚至還有末聚合的感光材料,這就使中間的防蝕材料處于一種不穩(wěn)定狀態(tài),在蝕刻或電鍍過(guò)程中反而容易產(chǎn)生脫落、起層等故障。

防蝕層的厚度和解像度成反比,防蝕層越厚其解像度越低。所以防蝕層厚度的選擇主要根據(jù)腐蝕劑的性質(zhì)及蝕刻強(qiáng)度、工作溫度、時(shí)間、壓力、加工零件或圖文精度這幾方面來(lái)考慮。

某一確定的防蝕層厚度,只能達(dá)到一定程度的影像清晰度,而影像清晰度將直接影響到零件的加工精度或圖文蝕刻精度。其理由:①如果被保護(hù)的圖文線(xiàn)條比防蝕層的厚度還細(xì),則圖像會(huì)消失;②如果光敏防蝕層太厚,則其邊緣將會(huì)給影像造成陰影,因而使影像模糊不清。

據(jù)20世紀(jì)80年代柯達(dá)克的一項(xiàng)用十化學(xué)蝕刻的專(zhuān)用光敏防蝕層的技術(shù)資料介紹,其防蝕層厚度與解像清晰度的關(guān)系如下:當(dāng)防蝕層厚度為O.4um時(shí),影像解像度為1um;當(dāng)防蝕層厚度為5um時(shí),影像解像清晰度為125um.隨著技術(shù)的發(fā)展,防蝕層厚度和解像精度的關(guān)系已遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)這個(gè)范圍。現(xiàn)在市場(chǎng)卜通用的光敏防蝕劑,10um左右的厚度就能達(dá)50um左右的解像度。

對(duì)于普通工業(yè)蝕刻工程上所使用的防蝕材料(最小蝕刻精度大于llum),過(guò)低的防蝕層厚度并不能抵抗通用腐蝕劑的蝕刻強(qiáng)度,所以過(guò)薄的防蝕層雖然增加了解像度但防蝕能力減弱。在一定厚度防蝕層的條件下,耍提高其解像度和防蝕性能,必須使用感光度更加靈敏的感光劑,防蝕性能更好的感光材料,溫度低且光能量密度更高的曝光光源。前兩者需要材料的技術(shù)革命,后者需要設(shè)備的技術(shù)革命。

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