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道滘腐蝕加工 烘烤時間和韞度，不同型號的液體光致抗蝕劑有不同的要求，可參照其相應(yīng)的產(chǎn)品說明書和具體生產(chǎn)實踐來決定。烘烤方式分烘道式和烘箱式兩種，使用烘箱時，烘箱一定要帶有鼓風(fēng)裝置和恒溫控制，以使各部分烘烤溫度均勻。烘烤時間應(yīng)在烘箱達到設(shè)定溫度時開始計算。控制好烘烤溫度和時間非常重要，烘烤溫度過高或過長，都會使膜層發(fā)生部分熱聚合，增加顯影和去膜的難度。烘烤時間過短或溫度過低，在曝光時，底版容易粘附在感光膜卜，揭下底片時底版容易受到損傷。