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大嶺山蝕刻鋁蝕刻之曝光

文章來(lái)源:蝕刻加工時(shí)間:2020-08-27 點(diǎn)擊:

長(zhǎng)安蝕刻鋁 曝光是在紫外光照射下,光引發(fā)劑吸收光能分解成游離基,游離基再}i發(fā)不聚合單體進(jìn)行聚合交聯(lián)反應(yīng),反應(yīng)后形成不溶于稀堿溶液的體型大分子結(jié)構(gòu)。曝光一般在自動(dòng)雙面曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行,現(xiàn)在的曝光機(jī)根據(jù)光源的冷卻方式不同分風(fēng)冷和水冷兩種。

曝光成像質(zhì)量除干膜光敏抗蝕劑的性能外,光源的選擇,曝光時(shí)間(曝光最)的控制,照相底版的質(zhì)量等都是影響曝光成像質(zhì)量的重要斟素。

(1)光源的選擇:任何一種干膜都有其自身特有的光譜吸收曲線,而任何一種光源也都有其自身的發(fā)射光潛曲線。如果某種光源的光譜發(fā)射主峰和某種十膜的光譜吸收主峰相重疊或大部分重疊,說(shuō)明兩者匹配良好,曝光效果就好。

國(guó)產(chǎn)干膜的光譜吸收曲線表明,光譜吸收區(qū)為310nm~440nm,從幾種光源的光譜能量分布可看出:鏑燈、高壓汞燈、碘鎵燈在310nm~440nm波長(zhǎng)范圍均有較大的相對(duì)輻射強(qiáng)度,是干膜曝光的理想光源。而氙燈不適應(yīng)于干膜的曝光。光源選定以后,還應(yīng)考慮選用功率大的光源,因?yàn)楣庠磸?qiáng)度大,分辨率高,而且曝光時(shí)問(wèn)短,照相底版受熱變形的程度也小。

(2)曝光時(shí)間控制(曝光量的控制):在曝光過(guò)程中干膜的聚合反應(yīng)并不是在瞬問(wèn)完成,而是經(jīng)過(guò)以下過(guò)程完成。

干膜中由于存在氧或其他有害雜質(zhì)的阻礙,在曝光過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)一個(gè)誘導(dǎo)的過(guò)程.在該過(guò)程內(nèi)引發(fā)劑分解產(chǎn)生的游離基被氧和雜質(zhì)所消耗,單體的聚合甚微。當(dāng)誘導(dǎo)期一過(guò),單體的光聚合反應(yīng)很快進(jìn)行,膠膜的黏度迅速增加,接近于突變的程度,這就是光敏單體急驟消耗階段,這個(gè)階段在曝光過(guò)程中所占的時(shí)問(wèn)比例很小。當(dāng)光敏單體大部分消耗完時(shí),就進(jìn)人了單元體耗盡區(qū),此時(shí)光聚合反應(yīng)已經(jīng)完成。

正確控制曝光時(shí)間是獲得優(yōu)良干膜抗蝕圖像非常重要的因素。當(dāng)曝光不足時(shí),I=h于單體聚合不徹底,在顯影過(guò)程中,膠膜溶漲變軟,線條不清晰,色澤暗淡,甚至脫膠,存蝕刻過(guò)程中或電鍍過(guò)程中,膜起翹,滲鍍,甚至脫落。

當(dāng)曝光過(guò)度時(shí),會(huì)造成難于顯影,膠膜發(fā)脆,留下殘膠等弊病。更為嚴(yán)甫的是不正確的曝光將產(chǎn)生圖像線寬的偏差,過(guò)量的曝光會(huì)使圖形電鍍的線條變細(xì),使印制電路板蝕刻的線條變粗。反之,曝光不足使罔形電鍍的線條變粗,使印制電路板蝕刻的線條變細(xì)。要得到正確的曝光量,就需要確定一個(gè)最佳的曝光時(shí)問(wèn)。

曝光時(shí)間的確定,在條件允許的情況下可采用瑞斯頓17級(jí)或斯罔費(fèi)21級(jí)光密度尺來(lái)進(jìn)行計(jì)算。在無(wú)光密度尺時(shí),也可憑經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行觀察,用逐漸增加曝光時(shí);的方法,根據(jù)顯影后干膜的光亮程度,圖像是否清晰,圖像線寬是否與原底片相符等來(lái)確定適當(dāng)?shù)钠毓鈺r(shí)間。

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