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溢格蝕刻加工

蝕刻干膜分辨寮步蝕刻鋁率

文章來(lái)源:蝕刻加工時(shí)間:2020-08-27 點(diǎn)擊:

虎門蝕刻加工 分辨率是指在1mm的距離內(nèi),十膜抗蝕劑所能形成的線條(或間距)的條數(shù),分辨率也可以用線(或間距)的絕對(duì)尺寸的大小來(lái)表示,分辨率也可稱為解像度。干膜的分辨率與抗蝕膜的厚度有關(guān),抗蝕膜層越厚,分辨率越低。光線透過(guò)照相底版和聚酯薄膜對(duì)干膜曝光時(shí),由于聚酯薄膜對(duì)光線的散射作用,使光線側(cè)射,因而降低了干膜的分辨率,聚酯薄膜越厚,光線側(cè)射越嚴(yán)重,分辨率越低。普通于膜的技術(shù)要求規(guī)定,能分辨的最小平均線條寬度,一級(jí)指標(biāo)≤100µm,二級(jí)指標(biāo)≤150µm。

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