石碣蝕刻鋁
光刻技術(shù)目前研究的熱點是將光刻光源的波長推向極短波長，而美國馬里蘭大學(xué)的一個研究小組則在研究一種基于可見光波長的多光子光阻膠技術(shù)，這種光刻技術(shù)可以實現(xiàn)納米級的光刻解析度，其解析度與曝光時間成反比。
