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| 故障現(xiàn)象 | 產(chǎn)生原因 | 排除方法 |
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干膜與基板粘 接不牢 |
干膜儲(chǔ)存時(shí)間過(guò)久，抗蝕劑中溶劑 揮發(fā) |
在低于27X的環(huán)境中保存干膜，儲(chǔ)存時(shí)間不宜超過(guò)有 效期 |
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基板清潔處理不良，有氧化層、油 污或微觀表面粗糙不夠 |
加強(qiáng)基板清潔處理，并檢查是否有均勻水膜形成;加 強(qiáng)表面微觀粗糙化處理 |
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| 環(huán)境濕度太低 | 保持環(huán)境濕度為50%左右 | |
| 貼膜溫度過(guò)低或傳送速度太快 |
調(diào)整好貼膜溫度和傳送速度|，連續(xù)貼膜最好把板子 預(yù)熱 |
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干膜與基板表 面之間出現(xiàn) 氣泡 |
貼膜溫度過(guò)髙，抗?fàn)T劑中的揮發(fā)成 分急劇揮發(fā)，殘留在聚酯膜和基板之 間，形成鼓泡 |
調(diào)整貼膜溫度至標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi) |
| 熱壓輾表面不平有凹坑或劃傷 |
注意保護(hù)熱壓輥表面的平整，清潔熱壓輥時(shí)不要用堅(jiān) 硬、鋒利的工具去刮 |
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| 壓輥壓力太小 | 適當(dāng)增加兩壓輥間的壓力 | |
| 基板表面不平有劃痕或凹坑 |
挑選板材并注意前面工序加工質(zhì)量，減少造成劃痕， 凹坑的可能 |
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| 干膜起皺 |
兩個(gè)熱壓輥軸向不平衡，使干膜受 扭不均勻 |
調(diào)整兩個(gè)熱壓輥，使之軸向平行 |
| 操作不熟練，干膜放置不當(dāng) | 平時(shí)多加練習(xí)，熟練操作技能;放板時(shí)多加小心 | |
| 貼膜溫度太高 | 調(diào)整貼膜溫度至正常范圍內(nèi) | |
| 貼膜前基板太熱 | 板子預(yù)熱溫度不宜太高 . |