中堂蝕刻加工 多臺階腐蝕其實就是選擇性腐蝕在實際生產(chǎn)中的另一種應(yīng)用方式，是用選擇腐蝕的方法在零件卜腐蝕出各種不同深度的一種腐蝕加工方法，也稱為分步切削腐蝕加工。通過這種方法腐蝕的各種不同深度可以用未腐蝕的凸臺分隔開，也可以相互鄰接最終形成梯形的剖面。其加工程序是：最先暴露腐蝕的部位，也就是最終腐蝕得最深的部位，對深度大的腐蝕應(yīng)特別注意側(cè)蝕量及多臺階累計公差的精確計算。下面用一實例來說明這一過程的進行

例4假定如圖1 5所示的橫截而為要求腐蝕的三臺階截面圖。要完成這 多臺階的腐蝕過程，需要通過一個步聚米完成，現(xiàn)簡述如下：

(1)零件經(jīng)清潔處理后，涂上防蝕材料，待完全干燥后，在圖l-5中4.5mm深度要求的部位去掉防蝕層，作為第一次腐蝕加工．的窗口。去掉這部分防蝕層后的零件放人腐蝕液中進行第一次腐蝕，腐蝕深度：1.5mm。見圖l.6

(2)經(jīng)第一次腐蝕后的零件從腐蝕液中提出，清洗干凈并干燥后，檢測其腐蝕深度是否在設(shè)計要求范圍。如符合要求，再去除第二次需要腐蝕部位的防蝕層，即圖1 5中所示3mm腐蝕深度部位，作為第二次腐蝕增加的腐蝕加工窗口。第二次去除防蝕層后放入腐蝕液中進行第二次腐蝕，腐蝕深度：l.5mm。見圖1-7。

(3)將經(jīng)第二次腐蝕后的零什從腐蝕液中提出，清洗干凈并十燥后，同時再次檢測二次的腐蝕深度是否符合要求，然后再去除第二移(所需要腐蝕部位的防蝕層，即圖1-5中所示1。5mm腐蝕深度要求的部位，作為第三次腐蝕所增加的腐蝕窗口。將去除這部分防蝕層的零件放人腐蝕液中進行第三次腐蝕，腐蝕深度：l_5mm。如圖1～8所示。經(jīng)這步工序完成后，這一三臺階零件的腐蝕過程即告結(jié)束。零件經(jīng)清洗后，最后檢測各臺階腐蝕深度是否在工藝要求范圍內(nèi)，如深度不夠可適當(dāng)再增加蝕刻時問，達到規(guī)定深度后即可去除全部防蝕層，加工過程結(jié)束。

在多臺階腐蝕加工沖，關(guān)于防蝕層的制作，最原始的刻劃法往往最為實用，關(guān)于這一方法的過程和要求，留待后面章節(jié)介紹。

在腐蝕過程中為了保證腐蝕深度在工藝規(guī)定的范圍，在每一次腐蝕過程中都要經(jīng)過多次檢測跟蹤腐蝕深度的變化。對丁腐蝕深度的控制，可以采用二步或_三步逼近法進行控制。在確定每次蝕刻時間時，應(yīng)對被腐蝕金屬材料進行蝕刻速度及側(cè)蝕率的測試實驗，再根據(jù)測試的蝕刻速度及側(cè)蝕率確定蝕刻時間及被腐蝕窗口的尺寸。

在多臺階腐蝕加工中要特別注意加工工差問題，由于在多次腐蝕加工過程中，工差會逐漸積累起來，因而，每一次的腐蝕加工都必須取工差的中值。并且在實際腐蝕過程中，還需要對腐蝕尺寸進行精確測量，以便可以補救偏離工差的部位。在多臺階腐蝕中還要注意的一個問題，就是經(jīng)腐蝕后的各層臺階邊緣的幾何形狀是會隨著腐蝕深度的增加而變化，如果想要達到預(yù)期的幾何邊緣，就需要選擇與之相適應(yīng)的腐蝕方法。

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