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溢格蝕刻加工

側(cè)腐蝕與蝕樟木頭蝕刻加工刻精度

文章來(lái)源:蝕刻加工時(shí)間:2020-08-27 點(diǎn)擊:

大嶺山蝕刻

在化學(xué)蝕刻加工工藝中,除不經(jīng)任何防蝕處理的整體蝕刻力法外,都必須要注意防蝕層下,金屬腐蝕的蔓延問(wèn)題,也就是我們常說(shuō)的側(cè)腐蝕。側(cè)腐蝕的大小直接關(guān)系到圖文的蝕刻精度和腐蝕線條極限尺寸。我們來(lái)看一下防蝕層圖文邊緣的腐蝕加工過(guò)程:零件在腐蝕液中, 方面腐蝕劑與零件表面發(fā)生反應(yīng),腐蝕加工向著垂直于零件表面的方向進(jìn)行,即深度方向進(jìn)行。同時(shí),腐蝕劑也在與防蝕層圖文邊緣下面的金屬發(fā)生反應(yīng),使腐蝕加工沿著防蝕層邊緣下面向著水平力向進(jìn)行。從而在防蝕層的邊緣下面形成一個(gè)寬度為A和半徑近似等于腐蝕深度h的圓弧R,這種現(xiàn)象稱為側(cè)蝕或防蝕層下水平切削,如圖1-1所不。

通常把防蝕層下的水平方向腐蝕寬度4稱為側(cè)蝕量,側(cè)蝕量A與腐蝕深度h的比值就是側(cè)蝕率F:

F=A/h式中:A為側(cè)蝕量(mm);h為腐蝕深度(mm);F為側(cè)蝕率或腐蝕因素,用以表示不同條件

下側(cè)蝕量與腐蝕加工深度之間的關(guān)系。

以上有關(guān)圓弧R的大小受蝕刻深度、設(shè)腐蝕窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、腐蝕液的組成、腐蝕方法及材料種類(lèi)等的影響較大。

側(cè)蝕量決定了化學(xué)蝕刻加工的精度,側(cè)蝕量越小,加工精度越高,適用范圍就越寬。反之,加工精度降低,適用范州縮小。側(cè)蝕量的大小主要受金屬材料的影響,在常用的幾種金屬材料中,以銅的側(cè)蝕量最小,鋁的側(cè)蝕量最大。腐蝕劑的選擇、濃度及蝕剡條件也會(huì)對(duì)金屬的側(cè)蝕量產(chǎn)生較火的影響。通常情況下,人們都認(rèn)為蝕刻速度越快側(cè)蝕量越小,其實(shí)這種認(rèn)識(shí)并不十分準(zhǔn)確,在金屬材料和腐蝕液成分一定的情況下,這一認(rèn)識(shí)才是成立的,其最小側(cè)蝕量也只能達(dá)到這一金屬材料的理論側(cè)蝕量。有關(guān)學(xué)者研究表明,選擇更為優(yōu)越的腐蝕劑,雖然蝕刻速度提高并不明顯,但的確可以改善金屬的側(cè)蝕量。

蝕刻速度和側(cè)蝕量,是化學(xué)蝕刻中兩個(gè)最關(guān)鍵同時(shí)也是最為重要的參數(shù)。蝕刻速度決定了化學(xué)蝕刻加工周期的長(zhǎng)短,蝕刻速度越快,蝕刻加工周期越短,生產(chǎn)效率越高,反之生產(chǎn)效率降低。但是,蝕刻速度也并非越快越好:①蝕刻速度越快,在單位時(shí)間內(nèi)對(duì)金屬的蝕刻量就越大,產(chǎn)熱量增大,腐蝕液溫度變化快,不利于蝕刻速度的恒定;②蝕刻速度太快,對(duì)于深度要求很精確的零件加工不易控制;③蝕刻速度越快,經(jīng)蝕刻后的金屬表而質(zhì)量越低,明顯影響蝕刻表面的平滑度和光澤度;④高的蝕刻速度往往都需要高濃度的腐蝕劑濃度、高腐蝕性的化學(xué)試劑、高的蝕刻溫度等。這些因素一則使腐蝕劑成奉增高,同時(shí)對(duì)抗蝕層的要求增高,成本增加。再則,高濃度的腐蝕劑和高的蝕刻溫度都會(huì)增加對(duì)環(huán)境的污染和對(duì)操作人員的危害。在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)于那些蝕刻鼉較大的零件,可以采用先快后慢的方法進(jìn)行。所謂先快后慢就是先用蝕刻速度較快的腐蝕液進(jìn)行一次蝕刻,當(dāng)蝕刻深度接近設(shè)計(jì)要求值后,再換用蝕刻速度較慢的腐蝕液進(jìn)行精度蝕刻,這樣做雖然增加了工序,但縮短了加工時(shí)間,同時(shí)又保證了蝕刻精度和表面光澤度。至于快速蝕刻時(shí)間的確定,需要根據(jù)零件的加工要求而定,一般可以選擇總蝕刻量的80%一90%為宜

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